SK하이닉스가 네온의 국내 생산 방법을 찾은 데 이어 재활용 기술 개발에도 성공했다. 희귀가스인 네온은 반도체 공정에 필수적이지만 중국 등 해외 의존도가 매우 높다.

1일 SK하이닉스 관계자는 “러시아-우크라이나 전쟁 이후 공급망 불안을 해소하고자, 네온 공급망 다양화를 위해 힘쓰고 있다”며 “이번 재활용 기술 개발 또한 그 일환”이라고 설명했다. 

네온은 빛을 통해 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 ‘노광공정’에 이용되는 가스 중 95% 이상을 차지한다. SK하이닉스와 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC는 노광공정 이후, 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집한다. 

스크러버는 반도체 생산 공정 중 발생하는 가스나 화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치다. TEMC의 가스 처리 과정을 통해 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급되어 반도체 제조 공정에 사용된다. 

궁극적으로 SK하이닉스는 해외 의존도가 높은 소재의 수급 문제를 해결하고, 반도체 제조 전반에 걸쳐 배출되는 온실가스를 감축해 환경 문제 해결에 기여하겠다는 계획이다.

SK하이닉스에 따르면 현재 네온 회수율은 72.7%로, 앞으로 77%까지 높일 예정이다. 네온 재활용 기술이 용인 반도체 클러스터 1기 팹에 적용될 경우 2022년 네온 단가 기준, 연간 400억 원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다. 또 네온 전체 생산 과정에서의 온실가스 배출량이 연간 1만 2,000톤 가량 줄어들 것으로 보인다. 

SK하이닉스는 꾸준히 네온의 공급망 다양화를 위해 노력하고 있다. 지난 2022년에는 네온의 국내 생산에 성공했다. 당시 2024년까지 네온의 전량 국산품 대체를 목표로 내세웠다.

SK하이닉스 관계자는 “협력사와 함께 사업을 진행하고 있어 달성 정도를 언급하기는 어렵지만, 올해 말까지 국산화 비중 100%를 달성하겠다는 목표에는 변함이 없다”고 말했다.