반도체 ‘포토레지스트’ 세계 1위, 日 ‘JSR’ 기업...충북 청주에 공장 짓는다
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반도체 ‘포토레지스트’ 세계 1위, 日 ‘JSR’ 기업...충북 청주에 공장 짓는다
  • 조아라 기자
  • 승인 2024.11.13 09:40
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전 세계 기업 최초 반도체 극자외선(EUV) 공정용 메탈 포토레지스트 생산거점 한국에 마련
메탈 포토레지스트, 반도체 EUV 핵심 소재 2026년까지 구축 예정
[사진=JSR]
[사진=JSR]

충북 청주에 일본 반도체 디스플레이 기업 JSR사가 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심소재인 메탈 포토레지스트(Metal Oxide resist, MOR) 생산공장 구축한다. JSR은 해당 공장에서 2026년까지 생산기반 구축을 완료하고 메탈 포토레지스트를 양산한다는 계획이다.

12일 산업통상자원부는 김대자 산자부 무역투자실장이 충북 청주에서 개최된 JSR사(社)의 메탈포토레지스트 생산공장 기공식에 참석했다고 밝혔다.

해당 공장을 위해 지난 8월 충청북도는 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아㈜와 오창 외국인투자지역 내 반도체용 포토레지스트 생산공장 신설 투자협약을 체결했다.

JSR마이크로코리아㈜는 세계적인 반도체 소재 제조사인 일본 JSR주식회사의 기술과 자본이 투입돼 설립된 100% 외국인 투자기업이다.

JSR은 1957년 설립 이후 현재 반도체 포토레지스트 분야 전세계 시장 점유율 1위를 차지하고 있는 기업으로, 국내에는 2003년에 처음 충북 오창에 디스플레이 소재 생산 공장을 설립했다.

청주 공장 설립으로 JSR사는 전 세계 기업 중 최초로 반도체 극자외선(EUV) 공정용 메탈포토레지스트 생산거점을 한국에 구축하게 됐다.

특히, 해당 공장에서 생산하는 EUV 메탈포토레지스트는 기존 반도체 공정에서 사용되는 저사양 화학증폭형 포토레지스트를 대체하는 첨단제품으로 주요 반도체 생산기업들이 역량을 집중하고 있는 반도체 초미세 공정의 경쟁력을 좌우하는 핵심 소재다.

김대자 무역투자실장은 이날 축사를 통해 “JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충청북도·청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획이며, 앞으로도 우리나라가 첨단산업 중심의 글로벌 비즈니스 거점으로 자리매김 할 수 있도록 정책적 노력을 다하겠다”고 밝혔다.

[녹색경제신문 = 조아라 기자]

조아라 기자  lycaon@greened.kr

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